ACP - večstopenjska roots črpalka

ACP - večstopenjska roots črpalka

Predstavljamo Vam Pfeiffer Vacuum-ovo večstopenjsko roots črpalko, ki proizvaja čist in suh vakuum za različne aplikacije in trge. Manjše ACP-roots črpalke (ACP 15/28/40) se največkrat uporabljajo za predčrpalko turbomolekularni črpalki, večja (ACP 120) se uporablja za proces liofilizacije, serije A100, A3P ali A3H pa se v velikem številu uporabljajo v polprevodniški industriji.





Prednosti:

  • Samostojno črpanje od atmosfere
  • Suha črpalka, brez delcev na stiku statorskega in rotorskega dela
  • Zamenjava za oljno ali spiralno rotacijsko črpalko
  • Frekvenčna regulacija za prilagoditev delovanja črpalke Vaši aplikaciji
  • Zelo dolg servisni interval (20.000h/22.000h za ACP 15 oz. ACP 28 in 40)
  • Zmožnost črpanja vodne pare do 1000g/h


Primeri uporabe:

  • Predkomore
  • Komore za transport
  • Naprševanje
  • Naparevanje
  • Metrologija
  • Polprevodniška in solarna industrija; dopiranje, depozicija, jedkanje, termični procesi (RTP), kemično naprševanje


Simulacija delovanja

Brošura


Pošlji povpraševanje

Oglasi:

JEOL
Pfeiffer vacuum
Oxford Instruments
RMC
Labogene
AIR Liquide / Cryopal
SPI
VAT AG
HSR AG